高凯技术成立于2013年,是一家专业从事精密流体控制领域中关键控制部件及相关设备研发、生产与销售的国家级专精特新重点"小巨人"企业。公司以压电驱动和精密流体控制两大核心技术为底座,构建了流量控制、点胶封装、精密涂胶三大产品矩阵,广泛应用于半导体、消费电子、汽车电子和新能源等智能制造领域。
公司创始人、董事长兼总经理刘建芳博士,曾赴日本山形大学留学,师从渡边克己、铃木胜义先生,获工学博士学位,曾任吉林大学教授、博士研究生导师。截至目前,公司拥有专利198项,其中发明专利61项,并参与制定国家标准《气动控制阀》(GB/T 4213-2024)。
高凯MFC:国产半导体级质量流量控制器的突破
什么是MFC?
MFC(Mass Flow Controller,质量流量控制器)是半导体晶圆制造前道工艺中不可或缺的核心零部件,广泛应用于刻蚀、薄膜沉积(CVD/ALD)、清洗、离子注入等关键工艺环节,对工艺气体进行高精度流量控制。其性能直接影响芯片制造的良率与一致性,是半导体设备的关键核心零部件。
长期以来,全球MFC市场由日本Horiba(全球份额60%以上)、美国MKS和Brooks三家海外巨头高度垄断。2024年,中国大陆半导体前道MFC国产化率不足5%,国产替代空间广阔。

2021年,高凯技术自主研制出国内首款半导体级压电式MFC,打破了日美企业在该领域的长期垄断。压电式MFC因适配7nm及以下逻辑芯片、3D NAND等先进制程的微小流量精确控制需求,在刻蚀及ALD/CVD等核心工艺中占比持续提升,是MFC技术的重要发展方向。
目前,高凯技术的MFC产品部分型号已批量应用于7nm及以下逻辑芯片前道工艺设备,可适配5nm刻蚀机,覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗、离子注入等核心晶圆制造工艺,并通过了中微半导体等头部设备厂商的验证。在国产半导体MFC领域,高凯技术是国内少数能够量产供货、且应用于先进工艺制程节点的关键流体控制部件供应商。
三大业务板块协同发展
除流量控制外,高凯技术的点胶封装系列产品(压电喷射阀、精密螺杆泵、智能点胶机器人等)打破了国际厂商在精密点胶核心阀领域的垄断,服务立讯精密、瑞声科技、富士康、东山精密等消费电子客户;精密涂胶系列产品(动力电池涂胶机、光伏边框涂胶机等)切入宁德时代、比亚迪、晶科能源等新能源客户产线,拓展新能源领域。
三大业务板块基于同一底层技术——压电驱动与精密流体控制,分别面向半导体、消费电子、新能源三大下游领域,形成了覆盖半导体、消费电子、新能源三大下游市场的协同布局。2023年至2025年,公司营收从2.26亿元增长至5.11亿元,复合增速达50.4%;扣非净利润从1,270万元增长至1.27亿元,实现了近10倍增长。
顺融资本投资逻辑
顺融重仓投资
顺融资本于2019年完成对高凯技术的战略投资,IPO前持股3.13%,是基金的核心重仓项目之一。
回溯当年的投资决策,有几个关键判断:
1底层技术平台的延展性
顺融在接触高凯技术时,公司主要产品仍集中在点胶封装领域,但团队敏锐地识别到压电驱动与精密流体控制这一底层技术体系具备较强的平台化潜力。从点胶阀到MFC,从消费电子到半导体前道,核心都是对流体的高精度控制——这并非简单的产品线扩张,而是底层技术平台的自然延展。事实证明,正是这一底层技术平台,支撑高凯技术成功切入了半导体MFC这一关键核心领域。
2半导体国产替代的确定性
2019年,半导体设备零部件国产化仍处于早期阶段,但顺融判断:在中美科技博弈的大背景下,半导体供应链自主可控将从"可选"变为"必选"。MFC作为晶圆制造前道核心零部件,国产化率不足5%,替代空间巨大。此后日本半导体设备出口管制持续加码,进一步加速了这一进程。高凯技术的MFC产品从实验室走向产线、从7nm走向更先进制程,持续受益于国产替代进程的加速推进。
3技术驱动型创始人的长期价值
刘建芳博士的学术背景和产业化能力构成了高凯技术的核心壁垒。作为压电驱动领域的留日博士、吉林大学教授,他兼具深厚的理论功底和工程师的务实精神,十年如一日专注于精密流体控制技术的研发与产业化。这种"科学家+企业家"的特质,是硬科技领域最稀缺的创始人画像。
4从"小而美"到平台型公司的成长路径
高凯技术从点胶设备起步,逐步延展至流量控制和精密涂胶,再向半导体真空系统零部件拓展。这种从单品到多品、从消费电子到半导体高端应用的演进路径,与顺融资本"挖掘产业链上游价值核心"的投资策略高度契合。登陆资本市场后,公司募投项目将重点投向高端半导体设备零部件研发及产业化,有望进一步拓展在半导体设备零部件领域的产品布局。
投资人观点
顺融资本合伙人 齐冬亮:
高凯深耕精密流体控制技术,以压电技术为基础,从点胶扩展到MFC,从消费电子扩展到半导体。高凯是顺融在核心零部件投资领域的典型代表案例,也是零部件厂家通过平台型技术不断拓宽产品系列的成功案例。公司在市场拓展和资本化道路上都经历了很多波折,但在刘教授,焦博士的带领下,高凯团队体现了极高的韧性和创造力。从投资至今,公司一直给我们带来惊喜,我也相信在上市后他们会用自己的产品给产业不断带来惊喜,给资本市场带来惊喜。
顺融资本执行合伙人 张亮:
高凯技术的核心竞争力,归根到底是人的力量。刘建芳博士是典型的"科学家+企业家"型创业者——留日博士、吉林大学教授的学术背景赋予了他深厚的理论功底,而十年如一日专注精密流体控制技术产业化的坚持,则体现了他工程师般的务实精神和企业家的战略定力。在他的带领下,高凯团队从点胶设备起步,一步步攻克MFC这一关键核心难题,将实验室技术转化为可量产、可验证的工业级产品,打破了海外企业的长期垄断。这种长期专注的定力和坚持,是硬科技领域最稀缺的团队特质。除了核心带头人的掌舵引领,公司还汇聚了一批年轻敢闯的技术骨干,团队整体充满活力,学习迭代能力突出。这群年轻成员扎根工艺研发、产线验证与市场落地一线,紧跟行业技术迭代节奏,把前沿理论转化为落地的工程实践,成为技术攻坚与产品迭代的重要生力军。当前半导体设备零部件国产替代正从远期愿景走向刚性需求,有这样一支既有技术深度又有产业执行力的团队,高凯技术的先发优势和平台化潜力将随着国产化进程的加速持续释放。